Для измерения давления ниже атмосферного используются вакуумные приборы, которые называются вакуумметры. Если говорить просто, то вакуумметр создан для того, чтобы проверять, на сколько «хорош» вакуум создаваемый вакуумным насосом.
Вакуумметры классифицируют по принципу действия и методу измерения давления. По методу измерения различают две группы вакуумметров: основанные на прямых измерениях и на косвенных измерениях давления.
Вакуумметры, основанные на прямых измерениях давления. Такие приборы измеряют давление, как отношение силы к площади чувствительного элемента. Главная особенность вакуумметров этой группы – независимость показаний от рода газа. Наименьшее давление, которое может измерить вакуумный прибор этой группы 10-4 ... 10-5 Па.
К этой группе вакуумметров относятся следующие приборы:
- жидкостные вакуумметры;
- компрессионные вакуумметры;
- механические вакуумметры.
Вакуумметры, основанные на косвенных измерениях давления – вакуумметры, принцип действия которых основан на использовании зависимости некоторых физических процессов от давления. Такие вакуумметры измеряют физические величины, связанные с давлением определенными функциональными зависимостями (силу тока, напряжение, ЭДС, частоту и др.). Показания этих вакуумметров зависят от рода газа. Некоторые приборы этой группы позволяют измерять давление до 10-12 Па.
В эту группу входят следующие вакуумметры:
- магнитные электроразрядные вакуумметры;
- тепловые вакуумметры;
- радиометрические вакуумметры;
- вязкостные вакуумметры;
- ионизационные вакуумметры.
Вакуумметры могут применяться для измерения грубого, среднего, высокого или сверхвысокого вакуума. По конструкции датчика они бывают механическими, деформационными, тепловыми, ионизационными, магниторазрядными и комбинированными.
| 
